GIGAPHOTON ArF DrY

GIGAPHOTON G41系列支持 100nm 技术节点的4kHz ArF 准分子激光机
主要特色：
全新设计的固体脉冲电源，可发射频率 4000 Hz 的激射光，达到 20W 的高产
继承 GIGAPHOTON KrF 激射（G10K/G20K 系列）的高可靠性设计