CYMER XLA 系列

ASML 旗下的 CYMER XLA 系列光刻机,就像一位 “精密雕刻师”,凭借顶尖技术为芯片 “绘制” 微观电路,撑起高端芯片生产的关键环节。
193nm ArF准分子激光器XLA系列,是ASML TWINSCAN系列光刻机的核心部分,利用极紫外光(EUV)技术,将芯片设计图上的电路图案精准投射到硅片上,形成纳米级的电路结构。CYMER XLA系列能实现超高精度的图案曝光,支持 7 纳米及更先进制程芯片的生产,比如我们常用的高端智能手机芯片、人工智能服务器芯片,不少都依赖它完成关键制造步骤。
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