CYMER ELS5000系列

准分子激光技术通过激发特定气体分子产生248nm波长激光，实现超高分辨率成像和纳米级加工，峰值功率5kW、重复率20kHz，适用于半导体光刻、MEMS制造及医疗领域，兼具高稳定性与低维护成本。
CYMER ELS5000系列在半导体制造领域的应用案例丰富，涵盖了功率器件、先进制程芯片、显示面板等多个领域。